PRODUCTS FAMILY (제품군 소개)

1. MFC & MFM

(질량유량제어기, 질량유량계)

◎ Mass flow controllers and meters are available in thermal and pressure based sensor technologies, analog and digital communication, and metal or elastomer seals. 


Enabling our customers to bring their products and processes to market faster, more reliably, and more cost effectively is at the heart of our flow measurement and control product design philosophy.


◎ 질량유량 제어기(MFC)와 질량유량계는 열과 압력에 기반한 센서 기술, 아날로그 및 디지털 통신, 금속 혹은 엘라스토머(실리콘, 고무 등) 밀폐부분에 적용 가능합니다. 


유량측정 및 제어제품의 디자인철학 중심은 고객들이 제품과 공정을 더 빠르고, 더 신뢰할 수 있고, 더 저렴한 비용으로 사용할 수 있도록 하는 것이 입니다.


※ Mass Flow : 질량유량. 유체가 시간당 단면적에 흐르는 질량. (= 유체의 유량*밀도)

※ Mass Flow Control : 질량유량 제어기.

※ Mass Flow Meter : 질량유량계. 단위시간에 관로를 통과하는 유체의 질량을 검출.


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2. Baraton Capacitance Manometer 

(정전용량 압력계)

◎ MKS Baratron® capacitance manometers are highly accurate and repeatable, insensitive to gas composition, compact, and easily interfaced with most process tools. We manufacture our manometers almost exclusively using nickelbased alloys such as Inconel®, Incoloy® and others. This makes them highly resistant to corrosion when the materials are matched to the process. 


Our sensors are fully welded and 100% leak-checked prior to assembly. In the event of an extremely rare failure of the diaphragm, the process gases are completely contained within the sensor, preventing escape to the outside environment. No other pressure or vacuum gauge offers that level of safety.


◎ MKS 바라트론 정전용량 압력계(Capacitance Manometer)는 매우 정확하고 반복적이며 가스 성분에 영향받지 않고 소형이며, 대부분의 공정 장비와 쉽게 연결됩니다. 대부분의 경우 인코넬, 인콜로이 등과 같은 니켈 베이스의 합금 만을 사용하여 압력계를 제작합니다. 이러한 합금은 공정에서 사용되는 물질에 의한 부식에 매우 강합니다. 


저희의 센서는 완벽히 용접되어 조립 전에 100% 누출 검사가 이루어집니다. 매우 드물게 격막(diaphragm)이 고장나는 경우에도, 공정 가스가 센서 내에 완벽히 억제되어 외부로의 누출을 막습니다. 어떠한 압력게이지나 진공게이지도 이런 정도의 안전을 보장하지는 못 합니다.


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3. Granville-Phillips Indirect Vacuum Gauges 

(그랜빌-필립스 간접 진공게이지)

◎ Vacuum users worldwide turn to MKS, Granville-Phillips® products for reliable, precise, dependable vacuum measurement technology for measuring pressure from 10-11 to 1500 Torr. 


Our vacuum gauges, transducers, sensors and controllers are based on multiple pressure measurement technologies including Convectron®, Micro-Ion®, MicroPirani™, Piezo hot and cold cathode, Stabil-Ion®, and MEMS-based multi-sensor technology


◎ 전세계의 진공 사용자들이 10-11 to 1500 Torr 범위의 압력을 측정하기 위해 신뢰할 수 있고 정밀한 진공 측정 기술을 가진 MKS의 그랜빌-필립스 제품에 의지합니다. 


저희의 진공 게이지, 트랜스듀서, 센서 및 컨트롤러는 Convectron, Micro-Ion, MicroPirani, Piezo hot & cold Cathode, Stabil-Ion 및 MEMS 기반의 다중 센서 기술을 포함하는 복합적인 압력 측정 기술에 기반을 두고 있습니다. 


※ Vacuum Gauges (진공게이지) : 대기압보다 낮은 기체의 압력을 측정할 수 있음.


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4. Gas Analyzer

(가스분석기)

◎ MKS gas analyzers employ Mass Spectrometry, Fourier Transform Infrared (FTIR), Nondispersive Infrared (NDIR), or Tunable Filter Spectroscopy to analyze gas composition.


◎ MKS의 가스분석기는 가스 성분을 분석하기 위해 Mass Spectrometry, Fourier Transform Infrared (FTIR), Nondispersive Infrared (NDIR), 혹은 Tunable Filter Spectroscopy 를 이용합니다.


※ FTIR Analyzer : Fourier transform infrared spectroscopy, 퓨리에 변환식을 이용하여 동시에 여러가지 가스성분을 측정하는 분석기

※ NDIR Analyzer : Nondispersive Infrared, CO나 CO2 등 가스상 물질들이 적외선에 대해 특정한 흡수스펙트럼을 갖는 것을 이용해서 특정성분의 농도를 구하는 분석기

※ Carrier Gas : 어떤 물질을 가스를 사용하여 반송하는 경우에 쓰이는 가스, 반도체의 확산 공정, 기상(氣相) 성장 공정 등에서 노(爐) 속에서 첨가 불순물의 수송을 담당하는 기체로, 질소, 아르곤, 헬륨 등의 불활성 가스가 쓰인다.

※ Tunable Filter Spectroscopy (TFS) : 캐리어 가스 없이 실시간으로 가스 성분과 품질 모니터링을 할 수 있게 한다.


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5. Vacuum Flanges & Fittings, Fittings and Accessories for Vacuum Piping Systems

(진공 플랜지 & 피팅, 진공관 시스템을 위한 피팅 및 액세서리)

◎ We offer ISO-KF, ISO-MF, ISO-BF, CF (ConFlat), and welded style vacuum fittings, vacuum flanges and vacuum components including elbows, reducers, tees, crosses, viewports, seals, adapters, clamps, hoses, flanges, tubes and tubing, and gaskets.


◎ 저희는 엘보, 리듀서, 티, 크로스, 뷰포트, 밀폐, 어댑터, 클램프, 호스, 플랜지, 튜브, 배관 및 개스킷을 포함한 ISO-KF, ISO-MF, ISO-BF, CF(ConFlat) 및 용접 방식의 진공 피팅, 진공 플랜지 및 진공 부품을 제공합니다.


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6. RF, DC, Microwave Gererators

(RF, DC, Microware 발생기)

◎ MKS offers high reliability, compact, solid state, mid to extended (VHF) frequency RF power generators, impedance matching networks and plasma metrology, RF amplifiers for MRI equipment, pulsed DC power generators, and microwave generators.


◎ MKS는 고신뢰도의 소형의 반도체를 이용한 VHF 주파수의 RF Power Generator, Impedance Matching Networks, Plasma Metrology(플라즈마 측정), MRI 장비용 RF Amplifier (증폭기), 펄스 DC Power Generator 및 Microwave Generator (극초단파 발생기)를 공급합니다.


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7. Pressure Controllers and Valves

(압력 조정기 및 밸브)

◎ Our innovative solutions for vacuum pressure control are backed by our relentless focus on operational excellence to ensure your success by improving the productivity of vacuum processes.


◎ 저희의 진공 압력 제어를 위한 혁신적인 솔루션은 진공 공정의 생산성을 향상시킴으로써 여러분의 성공을 보장할 수 있도록 끊임없는 노력으로 우수한 동작을 구현합니다.


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8. Plasma and Reactive Gas Sources

(플라즈마와 반응가스 소스)

◎ Plasma is an ionized gas essential in many processes such as photo-resist removal, wafer pre-clean, and thin film nitridation and oxidation. MKS designs and develops RF and microwave powered remote and in-situ sources for generation of oxygen, nitrogen, hydrogen and water vapor plasmas.


◎ 플라즈마는 photo-resist 제거, 웨이퍼 예비세정 및 thin film 질화 및 산화와 같은 많은 공정에서 이온화 가스의 필수 성분입니다. MKS는 산소, 질소, 수소 및 수증기 플라즈마 생성용 RF 및 Microwave 동작 원격 및 제자리 소스를 디자인 및 개발합니다. 


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9. Process Automation Controllers

(공정 자동화 컨트롤러)

◎ As innovators in programmable control, communication protocols, embedded analytics, and gateway technology, MKS has the critical building blocks and experience to deliver the latest technologies for distributed automation control and process monitoring to our customers, personalized for their exact requirements. 


We offer a complete Automation Platform solution along with a suite of Automation Control hardware and software configurable modules that allow semiconductor and other industrial manufacturing customers to better automate their processes through computer-controlled automation and seamlessly integrate with existing MKS products to provide a complete solution. Our expertise in control technology enables manufacturers worldwide to operate with greater productivity and streamlined efficiency. MKS works closely with our customers to provide proven, real time solutions that save time and money, reduce inefficiencies and enable faster implementation.


◎ 프로그램 작동 제어, 통신 프로토콜, 내장된 분석 기능 및 게이트웨이 기술의 혁신업체로써, MKS는 고객들에게 광범위한 자동화 제어 및 프로세스 모니터링을 위한 최신 기술을 소개하는 핵심적인 구성요소와 경험을 가지고 있습니다. 


저희는 반도체 업체 및 기타 산업 제조업체 고객들이 컴퓨터 제어 자동화를 통해 공정을 더 잘 자동화하고 기존의 MKS 제품들이 완전한 솔루션을 제공할 수 있도록 충돌없이 통합하는 자동화 제어용 하드웨어 및 소프트웨어의 구성을 위한 모듈 세트를 포함한 자동화 플랫폼 솔루션을 공급합니다. 


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10. Heater Jackets & Process Traps

(공정 자동화 컨트롤러)

◎ Uniformly Heat a Vacuum System and properly handle downstream effluents. 


Our heater jackets and process traps manage the temperature of a vacuum piping system while eliminating problems with downstream effluents that can create safety issues.


◎ 진공 시스템을 균일하게 가열하고 폐수를 적절히 관리


 저희의 히터재킷과 프로세스트랩은 안전 이슈를 발생시킬 수 있는 폐수 문제를 제거하는 동안 진공 배관의 온도를 관리합니다. 


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